Fundamental Principles of Optical Lithography

CA Mack

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Idioma: inglés

Editorial: John Wiley & Sons, 2007

0470018933 / 9780470018934

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The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films.

N° de ref. del artículo 556553358

Título
Fundamental Principles of Optical Lithography
Autor
CA Mack
Editorial
John Wiley & Sons
Año de publicación
2007
Estado
New
Encuadernación
Gebunden
Idioma
inglés
ISBN 10
0470018933
ISBN 13
9780470018934

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