Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases (Physics of Atoms and Molecules)

Idioma: inglés

Editorial: Springer Science & Business Media, New York, 2004

0306480379 / 9780306480379

Librería: Fox and Tome Books, Frederick, MD, Estados Unidos de AmericaFox and Tome Books

Vendedor de 3 estrellas

Vendedor de IberLibro desde 2 de marzo de 2023

Tapa dura

Condición: Nuevo

EUR 88,36

 Gastos de envío gratis 
Se envía dentro de Estados Unidos de America

Cantidad disponible: 2 disponibles

Añadir al carrito
Devoluciones gratuitas de 30 días

Descripción del artículo del vendedor

Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff examine how low-energy electrons collide with gas molecules used in plasma etching, with particular attention to the semiconductor industry. The six chapters move from general principles to data on individual gases. The first sets out the basic electron-molecule interactions and why they matter to technology. The second defines the cross sections and coefficients used to describe these collisions, in the gas phase, and the third explains how the authors evaluated and assessed the published data. The remaining chapters give recommended or suggested cross sections, together with rate and transport coefficients, for ten gases: CF4, C2F6 and C3F8; then CHF3, CF3I and c-C4F8; and finally Cl2, CCl2F2, BCl3 and SF6. Feel free to ask for photos or more detail.

Título
Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases (Physics of Atoms and Molecules)
Autor
Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff
Editorial
Springer Science & Business Media, New York
Año de publicación
2004
Estado
New
Encuadernación
Hardback
Idioma
inglés
ISBN 10
0306480379
ISBN 13
9780306480379
Peso del artículo
4,7 libras
Dimensiones
14.0 x 14.0 x 4.0 inches
Catálogos de vendedores
Science, Science & Mathematics

Fox and Tome Books

Frederick, MD, Estados Unidos de America

Vendedor de 3 estrellas

Vendedor de IberLibro desde 2 de marzo de 2023

Tarifas de envío en Estados Unidos de America

ArtículoDe 5 a 14 días hábilesDe 5 a 10 días hábiles
Primer artículoEUR 0,00EUR 60,79
Los plazos de entrega los establecen los vendedores y varían según el transportista y la ubicación. Los pedidos que pasan por la aduana pueden sufrir retrasos y los compradores son responsables de los aranceles o tarifas asociadas. Los vendedores pueden ponerse en contacto con usted en relación con cargos adicionales para cubrir cualquier aumento en los costes de envío de los artículos.

Métodos de pago

  • Visa
  • Mastercard
  • American Express
  • Carte Bleue
  • Apple Pay
  • Google Pay

Descripción de la tienda

Fox and Tome Books is an independent bookshop in Frederick, Maryland, 13 years in the trade. Genres runs wide : history, military, art, photography, science and medicine, religious studies of all faiths, occult, scholarship and reference, signed copies, first editions, scarce and out-of-print. Every book is hand inspected, accurately described and shipped with care. Please inquire about any item for details or additional photos. Thanks. -Brandon

Especialidad

American History & Politics, Civil War, Revolutionary War, Military History & Memoir, Biography, Art & Photography, Architecture, Science & Natural History, Religious Studies, Regional Americana

Información empresarial del vendedor

Fox and Tome Books

MD, Estados Unidos de America