Flash Lamp Annealing

Idioma: inglés

Editorial: Springer International Publishing Aug 2020, 2020

3030233014 / 9783030233013

Serie: Libro 201 de 233 - Springer Series in Materials Science

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed in detail and allow the reader to properly plan and perform their own thermal processing. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey. Several case studies of simulated temperature profiles in real material systems give the reader the necessary insight into the underlying physics and simulations. This book is a valuable reference work for both novice and advanced users. 308 pp. Englisch.

N° de ref. del artículo 9783030233013

Título
Flash Lamp Annealing
Autor
Lars Rebohle
Editorial
Springer International Publishing Aug 2020
Año de publicación
2020
Estado
Neu
Encuadernación
Taschenbuch
Idioma
inglés
ISBN 10
3030233014
ISBN 13
9783030233013
Peso del artículo
470 gramos
Dimensiones
235x155x17 mm
Serie
Libro 201 de 233: Springer Series in Materials Science

BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

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