Ellipsometry for Industrial Applications

Idioma: inglés

Editorial: Springer, Springer Dez 1987, 1987

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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -During the past years, elliposometry, a non-destructive and contact-less optical surface analysis technique, has gained increased importance in industrial areas, such as the technology of electronic devices, when simple instruments, many of them computer-controlled and automated, became available. The potential users of such instruments are, however, frequently aware neither of the inherent possibilities of this technique, nor of its accuracy limitations. This book endeavors to point out some of the less obvious features and possibilities of ellipsometry, particularly of dynamic 'in situ' measurements, and reviews its applications in research and manufacturing of semiconductor and thin film devices. A comprehensive discussion of various error effects typical particularly for simple ellipsometers and of their impact on measured sample parameters is provided. Error correction or (numerical) calibration procedures are given wherever possible, and design and operation guidelines for high-speed instruments suitable for dynamic 'in situ' measurements are suggested.Springer-Verlag KG, Sachsenplatz 4-6, 1201 Wien 116 pp. Englisch.…

N° de ref. del artículo 9783211820407

Título
Ellipsometry for Industrial Applications
Autor
Karl Riedling
Editorial
Springer, Springer Dez 1987
Año de publicación
1987
Estado
Neu
Encuadernación
Taschenbuch
Idioma
inglés
ISBN 10
321182040X
ISBN 13
9783211820407
Peso del artículo
216 gramos
Dimensiones
244x170x7 mm

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