Directed Self-Assembly of Block Co-Polymers for Nano-Manufacturing
Idioma: inglés
Editorial: Elsevier Science, 2015
Serie: Libro 89 de 203 - Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials
- Tapa dura
- Nuevo
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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - The directed self-assembly (DSA) method of patterning for microelectronics uses polymer phase-separation to generate features of less than 20nm, with the positions of self-assembling materials externally guided into the desired pattern. Directed self-assembly of Block Co-polymers for Nano-manufacturing reviews the design, production, applications and future developments needed to facilitate the widescale adoption of this promising technology. Beginning with a solid overview of the physics and chemistry of block copolymer (BCP) materials, Part 1 covers the synthesis of new materials and new processing methods for DSA. Part 2 then goes on to outline the key modelling and characterization principles of DSA, reviewing templates and patterning using topographical and chemically modified surfaces, line edge roughness and dimensional control, x-ray scattering for characterization, and nanoscale driven assembly. Finally, Part 3 discusses application areas and related issues for DSA in nano-manufacturing, including for basic logic circuit design, the inverse DSA problem, design decomposition and the modelling and analysis of large scale, template self-assembly manufacturing techniques.…
N° de ref. del artículo 9780081002506
- Título
- Directed Self-Assembly of Block Co-Polymers for Nano-Manufacturing
- Autor
- Roel Gronheid
- Editorial
- Elsevier Science
- Año de publicación
- 2015
- Estado
- Neu
- Encuadernación
- Buch
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 0081002505
- ISBN 13
- 9780081002506
- Peso del artículo
- 699 gramos
- Dimensiones
- 231x152x23 mm
- Serie
- Libro 89 de 203: Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials
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De la contraportada
The directed self-assembly (DSA) method of patterning for microelectronics uses polymer phase-separation to generate features of less than 20nm, with the positions of self-assembling materials externally guided into the desired pattern. Directed self-assembly of semiconductor nanostructures reviews the design, production, applications and future developments needed to facilitate the widescale adoption of this promising technology.
Beginning with a solid overview of the physics and chemistry of block copolymer (BCP) materials, Part 1 covers the synthesis of new materials and new processing methods for DSA. Part 2 then goes on to outline the key modelling and characterization principles of DSA, reviewing templates and patterning using topographical and chemically modified surfaces, line edge roughness and dimensional control, x-ray scattering for characterization, and nanoscale driven assembly. Finally, Part 3 discusses application areas and related issues for DSA in nano-manufacturing, including for basic logic circuit design, the inverse DSA problem, design decomposition and the modelling and analysis of large scale, template self-assembly manufacturing techniques.
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