Chemistry in Microelectronics
Idioma: inglés
Editorial: Wiley Apr 2013, 2013
- Tapa dura
- Nuevo
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Neuware - Chemistry in Microelectronics Microelectronics is a complex world where many sciences need to collaborate to create nano-objects: we need expertise in electronics, microelectronics, physics, optics and mechanics also crossing into chemistry, electrochemistry, as well as biology, biochemistry and medicine. Chemistry is involved in many fields from materials, chemicals, gases, liquids or salts, the basics of reactions and equilibrium, to the optimized cleaning of surfaces and selective etching of specific layers. In addition, over recent decades, the size of the transistors has been drastically reduced while the functionality of circuits has increased. This book consists of five chapters covering the chemicals and sequences used in processing, from cleaning to etching, the role and impact of their purity, along with the materials used in 'Front End Of the Line' which corresponds to the heart and performance of individual transistors, then moving on to the 'Back End Of the Line' which is related to the interconnection of all the transistors. Finally, the need for specific functionalization also requires key knowledge on surface treatments and chemical management to allow new applications. …
N° de ref. del artículo 9781848214361
- Título
- Chemistry in Microelectronics
- Autor
- Yannick Le Tiec
- Editorial
- Wiley Apr 2013
- Año de publicación
- 2013
- Estado
- Neu
- Encuadernación
- Buch
- Idioma
- inglés
- ISBN 10
- 1848214367
- ISBN 13
- 9781848214361
- Peso del artículo
- 703 gramos
- Dimensiones
- 234x157x25 mm
Chemistry in Microelectronics
Microelectronics is a complex world where many sciences need to collaborate to create nano-objects: we need expertise in electronics, microelectronics, physics, optics and mechanics also crossing into chemistry, electrochemistry, as well as biology, biochemistry and medicine. Chemistry is involved in many fields from materials, chemicals, gases, liquids or salts, the basics of reactions and equilibrium, to the optimized cleaning of surfaces and selective etching of specific layers. In addition, over recent decades, the size of the transistors has been drastically reduced while the functionality of circuits has increased. This book consists of five chapters covering the chemicals and sequences used in processing, from cleaning to etching, the role and impact of their purity, along with the materials used in "Front End Of the Line" which corresponds to the heart and performance of individual transistors, then moving on to the “Back End Of the Line” which is related to the interconnection of all the transistors. Finally, the need for specific functionalization also requires key knowledge on surface treatments and chemical management to allow new applications.
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Acerca del autor
Yannick Le Tiec is a technical expert at CEA-Leti, Minatec since 2002. He is a CEA-Leti assignee at IBM, Albany (NY) to develop the advanced 14 nm CMOS node and the FDSOI technology. He held different technical positions from the advanced 300 mm SOI CMOS pilot line to different assignments within SOITEC for advanced wafer development and later within INES to optimize solar cell ramp-up and yield. He has been part of the ITRS Front End technical working group at ITRS since 2008.
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