Chemical Vapor Deposition Polymerization : The Growth and Properties of Parylene Thin Films

Idioma: inglés

Editorial: Humana Dez 2010, 2010

1441954139 / 9781441954138

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Neuware - Chemical Vapor Deposition Polymerization - The Growth and Properties of Parylene Thin Films is intended to be valuable to both users and researchers of parylene thin films. It should be particularly useful for those setting up and characterizing their first research deposition system. It provides a good picture of the deposition process and equipment, as well as information on system-to-system variations that is important to consider when designing a deposition system or making modifications to an existing one. Also included are methods to characterizae a deposition system's pumping properties as well as monitor the deposition process via mass spectrometry. There are many references that will lead the reader to further information on the topic being discussed. This text should serve as a useful reference source and handbook for scientists and engineers interested in depositing high quality parylene thin films.

N° de ref. del artículo 9781441954138

Título
Chemical Vapor Deposition Polymerization : The Growth and Properties of Parylene Thin Films
Autor
Jeffrey B. Fortin
Editorial
Humana Dez 2010
Año de publicación
2010
Estado
Neu
Encuadernación
Taschenbuch
Idioma
inglés
ISBN 10
1441954139
ISBN 13
9781441954138
Peso del artículo
201 gramos
Dimensiones
235x155x8 mm

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