Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials

Gutmann, Ronald J.,Murarka, Shyam P.,Steigerwald, Joseph M.

ISBN 10: 0471138274 ISBN 13: 9780471138273
Editorial: Wiley-VCH, 1997
Idioma: Inglés
Condición: Usado - Regular Encuadernación de tapa dura

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