Charged Particles Interaction Effects on Solid Films

Idioma: inglés

Editorial: LAP LAMBERT Academic Publishing Okt 2011, 2011

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -In this work, intensive studies have been done to produce plasma beams that could be successfully used in a variety of applications. This thesis covers the design, construction and operation of a plasma beam. On the other side, some applications of the extracted beam with target materials were studied. To determine the plasma parameters, a single electrostatic probe with its electrical circuit are constructed and attached to the system. Accordingly, the argon plasma was obtained and its characteristics have been measured, for the sake to find out the most suitable ones to run successfully the possible aimed applications (cleaning, sputtering, coating and polymerization). This was made by plotting the plasma radial profile, the I-V characteristics and calculating the electron temperature and density at different pressures and electrodes`enter-spacings. 180 pp. Englisch.

N° de ref. del artículo 9783845474984

Título
Charged Particles Interaction Effects on Solid Films
Autor
Ali Atta
Editorial
LAP LAMBERT Academic Publishing Okt 2011
Año de publicación
2011
Estado
Neu
Encuadernación
Taschenbuch
Idioma
inglés
ISBN 10
384547498X
ISBN 13
9783845474984
Peso del artículo
286 gramos
Dimensiones
220x150x11 mm

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