Characterization of Stress in GaN-on-Sapphire Microelectromechanical Systems Structures Using Micro-Raman Spectroscopy

Idioma: inglés

Editorial: BIBLIOSCHOLAR, 2012

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KlappentextrnrnMicro-Raman ( Raman) spectroscopy is an e cient, non-destructive techniquewidely used to determine the quality of semiconductor materials and microelectrome-chanical systems. This work characterizes the stress distribution in wurt.

N° de ref. del artículo 6558342

Título
Characterization of Stress in GaN-on-Sapphire Microelectromechanical Systems Structures Using Micro-Raman Spectroscopy
Autor
Parada, Francisco E.
Editorial
BIBLIOSCHOLAR
Año de publicación
2012
Estado
New
Encuadernación
Encuadernación de tapa blanda
Idioma
inglés
ISBN 10
1288368518
ISBN 13
9781288368518

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