Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System (SpringerBriefs in Applied Sciences and Technology) - Tapa blanda
Sinopsis
This book provides for the first time a good understanding of the etching profile technologies that do not disturb the plasma. Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high-aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described.
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Acerca del autor
Prof. Seiji Samukawa
Distinguished Professor in Tohoku University
Professor in Institute of Fluid Science,
Professor and Principal Investigator, WPI-AIMR in Tohoku University.
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Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System (SpringerBriefs in Applied Sciences and Technology)
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Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System
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Springer Japan Feb 2014, 2014
ISBN 10: 4431547940
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Taschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book provides for the first time a good understanding of the etching profile technologies that do not disturb the plasma. Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high-aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described. 52 pp. Englisch. Nº de ref. del artículo: 9784431547945
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ISBN 13: 9784431547945
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Taschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -This book provides for the first time a good understanding of the etching profile technologies that do not disturb the plasma. Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high-aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described.Springer-Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 52 pp. Englisch. Nº de ref. del artículo: 9784431547945
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Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System
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Taschenbuch. Condición: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This book provides for the first time a good understanding of the etching profile technologies that do not disturb the plasma. Three types of sensors are introduced: on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath-shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high-aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described. Nº de ref. del artículo: 9784431547945
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Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System
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Taschenbuch. Condición: Neu. Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System | Seiji Samukawa | Taschenbuch | SpringerBriefs in Applied Sciences and Technology | viii | Englisch | 2014 | Springer | EAN 9784431547945 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: preigu Print on Demand. Nº de ref. del artículo: 105458985
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