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Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes - Tapa blanda

Gatzen, Hans H.; Saile, Volker; Leuthold, Jürg

 
9783662443965: Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes
Tapa blanda
ISBN 10: 3662443961 ISBN 13: 9783662443965
Editorial: Springer, 2015

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Sinopsis

Introduction-MEMS, a Historical Perspective.- Vacuum Technology.- Deposition Technologies.- Etching Technologies.- Doping and Surface Modification.- Lithography.- LIGA.- Nanofabrication by Self-Assembly.- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding.- Enabling Technologies II - Contamination Control.- Device Fabrication - An Example.

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Editorial
Springer
Año de publicación
2015
Idioma
Inglés
ISBN 10 
3662443961
ISBN 13 
9783662443965
Encuadernación
Paperback
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