Design for Manufacturability with Advanced Lithography - Tapa blanda

Yu, Bei; Pan, David Z.

 
9783319203867: Design for Manufacturability with Advanced Lithography
Tapa blanda
ISBN 10: 331920386X ISBN 13: 9783319203867
Editorial: Springer, 2015

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Sinopsis

Introduction.- Layout Decomposition for Triple Patterning.- Layout Decomposition for Other Patterning Techniques.- Standard Cell Compliance and Placement Co-Optimization.- Design for Manufacturability with E-Beam Lithography.- Conclusions and Future Works.-

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Editorial
Springer
Año de publicación
2015
Idioma
Inglés
ISBN 10 
331920386X
ISBN 13 
9783319203867
Encuadernación
Paperback
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