Sinopsis
A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.
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Acerca del autor
Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: Better World Books, Mishawaka, IN, Estados Unidos de America
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Condición: Good. Used book that is in clean, average condition without any missing pages. Nº de ref. del artículo: 5307233-6
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers (edition 2), 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: BooksRun, Philadelphia, PA, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: Good. 2. It's a preowned item in good condition and includes all the pages. It may have some general signs of wear and tear, such as markings, highlighting, slight damage to the cover, minimal wear to the binding, etc., but they will not affect the overall reading experience. Nº de ref. del artículo: 0890065810-11-1
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: Greenworld Books, Arlington, TX, Estados Unidos de America
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Condición: good. Fast Free Shipping â" Good condition book with a firm cover and clean, readable pages. Shows normal use, including some light wear or limited notes highlighting, yet remains a dependable copy overall. Supplemental items like CDs or access codes may not be included. Nº de ref. del artículo: GWV.0890065810.G
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: HPB-Red, Dallas, TX, Estados Unidos de America
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hardcover. Condición: Good. Connecting readers with great books since 1972! Used textbooks may not include companion materials such as access codes, etc. May have some wear or writing/highlighting. We ship orders daily and Customer Service is our top priority! Nº de ref. del artículo: S_432129004
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Print on Demand, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: A Squared Books (Don Dewhirst), South Lyon, MI, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Hardcover. Condición: Very Good. 2000; Boston; illustrated, glossy paper covered boards; light wear with some residue on front cover at the top corner; interior is clean and unmarked; 8vo, 7 3/4" to 9 3/4" tall; 265 pages. Nº de ref. del artículo: SKU1141037
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: Anybook.com, Lincoln, Reino Unido
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Condición: Good. This is an ex-library book and may have the usual library/used-book markings inside.This book has hardback covers. Clean from markings. In good all round condition. Please note the Image in this listing is a stock photo and may not match the covers of the actual item,750grams, ISBN:9780890065815. Nº de ref. del artículo: 9722792
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: Toscana Books, AUSTIN, TX, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: new. Excellent Condition.Excels in customer satisfaction, prompt replies, and quality checks. Nº de ref. del artículo: Scanned0890065810
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Norwood, Massachusetts, U.S.A.: Artech House on Demand, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: Bingo Books 2, Vancouver, WA, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: Very Good. 2nd Edition. hardback book in very good to near fine condition. several pages dog-eared. no names,hiliting.etc. Nº de ref. del artículo: 122809
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library)
Publicado por
ARTECH HOUSE INC 01.12.1999., 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: NEPO UG, Rüsselsheim am Main, Alemania
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Condición: Sehr gut. Auflage: 2. 292 Seiten Exemplar aus einer wissenchaftlichen Bibliothek Altersfreigabe FSK ab 0 Jahre Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 969 15,2 x 2,1 x 22,9 cm, Gebundene Ausgabe. Nº de ref. del artículo: 402529
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Print on Demand, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
Nuevo
Tapa dura
Librería: The Book Spot, Sioux Falls, MN, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Hardcover. Condición: New. Nº de ref. del artículo: Abebooks252715
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