Sinopsis
A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.
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Acerca del autor
Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Print on Demand, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Librería: World of Books (was SecondSale), Montgomery, IL, Estados Unidos de America
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
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Artech House, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Condición: Good. Former library copy. Pages intact with minimal writing/highlighting. The binding may be loose and creased. Dust jackets/supplements are not included. Includes library markings. Stock photo provided. Product includes identifying sticker. Better World Books: Buy Books. Do Good. Nº de ref. del artículo: 13331107-6
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Hardcover. Condición: Very Good. No Jacket. May have limited writing in cover pages. Pages are unmarked. ~ ThriftBooks: Read More, Spend Less. Nº de ref. del artículo: G0890065810I4N00
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Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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ISBN 10: 0890065810
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Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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ISBN 13: 9780890065815
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Librería: Half Price Books Inc., Dallas, TX, Estados Unidos de America
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hardcover. Condición: Very Good. Connecting readers with great books since 1972! Used books may not include companion materials, and may have some shelf wear or limited writing. We ship orders daily and Customer Service is our top priority! Nº de ref. del artículo: S_469796939
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