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Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication: v.1 (IEE Materials & Devices S.) - Tapa dura
Sinopsis
Focusing on the use of microlithography techniques in microelectronics manufacturing, this volume is one of a series addressing a rapidly growing field affecting the integrated circuit industry. New applications in such areas as sensors, actuators and biomedical devices, are described.
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Focusing on the use of microlithography techniques in microelectronics manufacturing, this volume is one of a series addressing a rapidly growing field affecting the integrated circuit industry. New applications in such areas as sensors, actuators and biomedical devices, are described.
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Provides a comprehensive resource for both the micro-electronics device manufacturing field and newer application areas such as sensors, actuators and biomedical devices.
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Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication, Volume 1 (Materials and Devices Series, 1)
Publicado por
Institution Of Engineering And Technology, 1997
ISBN 10: 0852969066
ISBN 13: 9780852969069
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Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Volume 1: Microlithography
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Institution Of Engineering And Technology, 1997
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Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication, Volume 1 (Materials and Devices Series, 1)
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