Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication: v.1 (IEE Materials & Devices S.) - Tapa dura

9780852969069: Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication: v.1 (IEE Materials & Devices S.)

Tapa dura

ISBN 10: 0852969066 ISBN 13: 9780852969069

Editorial: Institution of Engineering and Technology, 1997

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Focusing on the use of microlithography techniques in microelectronics manufacturing, this volume is one of a series addressing a rapidly growing field affecting the integrated circuit industry. New applications in such areas as sensors, actuators and biomedical devices, are described.

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Rese�a del editor

Provides a comprehensive resource for both the micro-electronics device manufacturing field and newer application areas such as sensors, actuators and biomedical devices.

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Editorial: Institution of Engineering and Technology
A�o de publicaci�n: 1997
Idioma: Ingl�s
ISBN 10: 0852969066
ISBN 13: 9780852969069
Encuadernaci�n: Tapa dura
N�mero de p�ginas: 776
Editor: Choudhury P.Rai-
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Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Volume 1: Microlithography

Publicado por Institution Of Engineering And Technology, 1997

ISBN 10: 0852969066 ISBN 13: 9780852969069

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