Artículos relacionados a Microlithography: Science and Technology
Sinopsis
This self-contained text details both elementary and advanced aspects of submicron microlithography - providing a balanced treatment of theoretical and operating practices as well as complete information on current research in the field. Including discussions on electron beam, x-ray, and proximal probe techniques and enhanced with timesaving citations to key sources in the literature and more than 600 tables, equations, drawings, and photographs that clarify the material, the book covers mechanical systems, optics, excimer laser light sources, alignment techniques and analysis, resist chemistry, processing, multilayer lithography, plasma and reactive ion etching, metrology, and more.
"Sinopsis" puede pertenecer a otra edición de este libro.
Críticas
"The editors have done an excellent job of gathering the knowledge of a number of world experts and blending it into a harmonious whole which will serve as a reference for some time to come, even in this fast-moving field." -International Journal of Electrical Engineering Education Promo Copy
Reseña del editor
This self-contained text details both elementary and advanced aspects of submicron microlithography - providing a balanced treatment of theoretical and operating practices as well as complete information on current research in the field. Including discussions on electron beam, x-ray, and proximal probe techniques and enhanced with timesaving citations to key sources in the literature and more than 600 tables, equations, drawings, and photographs that clarify the material, the book covers mechanical systems, optics, excimer laser light sources, alignment techniques and analysis, resist chemistry, processing, multilayer lithography, plasma and reactive ion etching, metrology, and more.
"Sobre este título" puede pertenecer a otra edición de este libro.
Resultados de la búsqueda para Microlithography: Science and Technology
Imagen del vendedor
Microlithography: Science and Technology
Librería: WeBuyBooks, Rossendale, LANCS, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
hardcover. Condición: Good. Most items will be dispatched the same or the next working day. A copy that has been read but remains in clean condition. All of the pages are intact and the cover is intact and the spine may show signs of wear. The book may have minor markings which are not specifically mentioned. Nº de ref. del artículo: rev1837660784
Comprar usado
EUR 48,83
Envío por EUR 12,14
Se envía de Reino Unido a Estados Unidos de America
Se envía de Reino Unido a Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 2 disponibles
Imagen de archivo
Microlithography: Science and Technology
Librería: SHIMEDIA, Brooklyn, NY, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
Condición: New. Satisfaction Guaranteed or your money back. Nº de ref. del artículo: 0824799534
Comprar nuevo
EUR 91,85
Gastos de envío gratis
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Microlithography: Science and Technology
Librería: BennettBooksLtd, Los Angeles, CA, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Hardcover. Condición: New. In shrink wrap. Looks like an interesting title! Nº de ref. del artículo: Q-0824799534
Comprar nuevo
EUR 96,77
Envío por EUR 6,20
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Microlithography - Science and Technology
Librería: Basi6 International, Irving, TX, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: Brand New. New. US edition. Expediting shipping for all USA and Europe orders excluding PO Box. Excellent Customer Service. Nº de ref. del artículo: ABEOCT25-126191
Comprar nuevo
EUR 111,87
Gastos de envío gratis
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Microlithography - Science and Technology
Librería: Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: New. This is a Brand-new US Edition. This Item may be shipped from US or any other country as we have multiple locations worldwide. Nº de ref. del artículo: ABBB-145043
Comprar nuevo
EUR 111,87
Gastos de envío gratis
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Microlithography Science and Technology
Publicado por
Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10: 0824799534
ISBN 13: 9780824799533
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: Books Puddle, Woodside, NY, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
Condición: Used. pp. 800 1st Edition. Nº de ref. del artículo: 261780318
Comprar usado
EUR 155,14
Envío por EUR 3,56
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Se envía dentro de Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Microlithography Science and Technology
Publicado por
Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10: 0824799534
ISBN 13: 9780824799533
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: Majestic Books, Hounslow, Reino Unido
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
Condición: Used. pp. 800. Nº de ref. del artículo: 7116161
Comprar usado
EUR 160,53
Envío por EUR 7,67
Se envía de Reino Unido a Estados Unidos de America
Se envía de Reino Unido a Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Microlithography Science and Technology
Publicado por
Taylor & Francis Group, 1998
ISBN 10: 0824799534
ISBN 13: 9780824799533
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: Biblios, Frankfurt am main, HESSE, Alemania
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
Condición: Used. pp. 800. Nº de ref. del artículo: 181780308
Comprar usado
EUR 159,35
Envío por EUR 9,95
Se envía de Alemania a Estados Unidos de America
Se envía de Alemania a Estados Unidos de America
Cantidad disponible: 1 disponibles