Reseña del editor
A textbook designed to accompany The Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers' short course on improving interconnect performance for increased speed in overall circuit performance authored by Steinbrnchel (materials science and engineering, Renselaer Polytechnic Institute) and Chin (senio
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This tutorial presents an overview of the issues surrounding the use of copper in interconnects, including materials options and different approaches to fabricating multilayer structures.
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Copper Interconnect Technology (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT46)
Publicado por
SPIE Publications (edition 1), 2001
ISBN 10: 0819438979
ISBN 13: 9780819438973
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