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Reseña del editor
This tutorial text covers lithography process control at several levels, from fundamental through advanced topics. A basic familiarity with lithography science is assumed. The book is intended to be a self contained tutorial that works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer.
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- EditorialSPIE Press
- Año de publicación1999
- ISBN 10 0819430528
- ISBN 13 9780819430526
- EncuadernaciónTapa blanda
- IdiomaInglés
- Número de páginas194
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Lithography Process Control (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT28)
Publicado por
SPIE Publications, 1999
ISBN 10: 0819430528
ISBN 13: 9780819430526
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Librería: HPB-Red, Dallas, TX, Estados Unidos de America
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Lithography Process Control (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT28)
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Tapa blanda
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Lithography Process Control (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT28)
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