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Sinopsis
Fabrication.- The substrate and adding material to it.- Creating and transferring patterns#x2014;Photolithography.- Creating structures#x2014;Micromachining.- Solid mechanics.- Applications.- Thinking about modeling.- MEMS transducers#x2014;An overview of how they work.- Piezoresistive transducers.- Capacitive transducers.- Piezoelectric transducers.- Thermal transducers.- to microfluidics.- Laboratories.- Microfabrication laboratories.
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- EditorialSpringer
- Año de publicación2008
- ISBN 10 0387560580
- ISBN 13 9780387560588
- EncuadernaciónPaperback
- IdiomaInglés
- Número de páginas462
(Ningún ejemplar disponible)
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