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Sinopsis
This book is specifically designed for the user who wishes expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications. The book provides a concise discussion of theory and instrumentation before describing how to use optical parameters to determine material properties and optical parameters for inaccessible substrates and unknown films, and how to measure extremely thin films. The book also addresses polysilicon, a material commonly used in the microelectronics industry, and the effect of substrate roughness. This book's concepts and applications are reinforced through the 14 case studies that illustrate specific applications of ellipsometry from the semiconductor industry as well as studies involving corrosion and oxide growth.
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Reseña del editor
Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement of film thickness and optical constants in films. The book provides a concise discussion of theory and instrumentation before describing how to use optical parameters to determine material properties and optical parameters for inaccessible substrates and unknown films, and how to measure extremely thin films. The book also addresses polysilicon, a material commonly used in the microelectronics industry and the effect of substrate roughness. The text's concepts and applications are reinforced through 14 case studies that aim to illustrate specific applications of ellipsometry from the semiconductor industry as well as studies involving corrosion and oxide growth.
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- EditorialAcademic Press Inc
- Año de publicación1993
- ISBN 10 0126939500
- ISBN 13 9780126939507
- EncuadernaciónTapa dura
- IdiomaInglés
- Número de páginas260
- Contacto del fabricanteno disponible
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A Users Guide to Ellipsometry
Publicado por
Academic Press Inc, 1993
ISBN 10: 0126939500
ISBN 13: 9780126939507
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: BoundlessBookstore, Wallingford, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: Very Good. VG condition book without dust jacket. Boards are clean with little wear. Book has clean and bright contents, pen and previous owner stamp front endpaper, 260pp with illustrations. Nº de ref. del artículo: 9999-9994450153
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A User's Guide to Ellipsometry
Publicado por
Academic Press, 1992
ISBN 10: 0126939500
ISBN 13: 9780126939507
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: ThriftBooks-Dallas, Dallas, TX, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: Good. No Jacket. Pages can have notes/highlighting. Spine may show signs of wear. ~ ThriftBooks: Read More, Spend Less 1.23. Nº de ref. del artículo: G0126939500I3N00
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A User's Guide to Ellipsometry
Publicado por
Academic Press, 1992
ISBN 10: 0126939500
ISBN 13: 9780126939507
Antiguo o usado
Tapa dura
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hardcover. Condición: Very Good. Hardback. No dust jacket. Cover edges and corners in good shape. Spine is tight. Former owner's name inside front cover Pages are clean, no markings, notes or stains. Ships from Friends bookstore to benefit Beaverton (Oregon) library. Nº de ref. del artículo: mon0000061385
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A USER'S GUIDE TO ELLIPSOMETRY.
Publicado por
Academic Press:, 1993
ISBN 10: 0126939500
ISBN 13: 9780126939507
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: PASCALE'S BOOKS, NORTH READING, MA, Estados Unidos de America
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Hard Cover. Condición: Fine-. 260 pages. "Ellipsometry is a very old technque for studying surfaces and thein films. It is also used extensively in integrated circuit(IC) manufacture and development, in corrosion science, and various other areas. The fundamental principles of the technqiues are well known. Although the literature is extensive, the few available books deal with the subect on a level that is too mathematical or theoretical for most casual users. FINE- HARDCOVER, black cloth covers, lettering is bright on the spine and cover. Size: 8vo - over 7¾" - 9¾" tall. Nº de ref. del artículo: 028511
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A User's Guide to Ellipsometry
Publicado por
Academic Press, 1992
ISBN 10: 0126939500
ISBN 13: 9780126939507
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: HPB-Red, Dallas, TX, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: Good. Connecting readers with great books since 1972! Used textbooks may not include companion materials such as access codes, etc. May have some wear or writing/highlighting. We ship orders daily and Customer Service is our top priority! Nº de ref. del artículo: S_377864099
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A User*s Guide to Ellipsometry
Publicado por
Academic Press, 1992
ISBN 10: 0126939500
ISBN 13: 9780126939507
Antiguo o usado
Tapa dura
Librería: dsmbooks, Liverpool, Reino Unido
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Hardcover. Condición: Good. Good. book. Nº de ref. del artículo: D7S9-1-M-0126939500-4
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A User's Guide to Ellipsometry
Librería: BennettBooksLtd, North Las Vegas, NV, Estados Unidos de America
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hardcover. Condición: New. In shrink wrap. Looks like an interesting title! Nº de ref. del artículo: Q-0126939500
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A User's Guide to Ellipsometry
Librería: Toscana Books, AUSTIN, TX, Estados Unidos de America
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Hardcover. Condición: new. Excellent Condition.Excels in customer satisfaction, prompt replies, and quality checks. Nº de ref. del artículo: Scanned0126939500
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