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PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing (Volume 26) (Thin Films, Volume 26) - Tapa dura

 
9780125330268: PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing (Volume 26) (Thin Films, Volume 26)

Sinopsis

Physics of Thin Films is one of the longest running continuing series in thin film science, consisting of 25 volumes since 1963. The series contains quality studies of the properties of various thin films materials and systems. In order to be able to reflect the development of today's science and to cover all modern aspects of thin films, the series, starting with Volume 20, has moved beyond the basic physics of thin films. It now addresses the most important aspects of both inorganic and organic thin films, in both their theoretical as well as technological aspects. Therefore, in order to reflect the modern technology-oriented problems, the title has been slightly modified from Physics of Thin Films to Thin Films. This volume, part of the Thin Films Series, has been wholly written by two authors instead of showcasing several edited manuscripts.

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Acerca del autor

Ronald A. Powell. Palo Alto, California. Novellus Systems, Inc., Palo Alto California - Stephen M. Rossnagel. Yorktown Heights, New York. IBM Corporation, T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York

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Stephen M. Rossnagel, Ronald Powell et Abraham Ulman
Publicado por Academic Press Inc, 1999
ISBN 10: 012533026X ISBN 13: 9780125330268
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Stephen M. Rossnagel
Publicado por Academic Press 1998-10-29, 1998
ISBN 10: 012533026X ISBN 13: 9780125330268
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Ulman Abraham Powell Ronald Rossnagel Stephen
Publicado por Elsevier, 1999
ISBN 10: 012533026X ISBN 13: 9780125330268
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Publicado por Academic Press, 1998
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Abraham Ulman Ronald Powell Stephen Rossnagel
Publicado por Elsevier, 1999
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Ulman Abraham Powell Ronald Rossnagel Stephen
Publicado por Elsevier, 1999
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Rossnagel, Stephen M.
Publicado por Academic Press, 1999
ISBN 10: 012533026X ISBN 13: 9780125330268
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Stephen M. Rossnagel
ISBN 10: 012533026X ISBN 13: 9780125330268
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