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Ion Implantation Technology: 1321 (AIP Conference Proceedings / Materials Physics and Applications) - Tapa dura
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Reseña del editor:
The proceedings of 18th International conference on Ion Implantation Technology (IIT2010) covers all aspect of ion implantation, from the fundamentals of ion-solid interactions to industrial applications of the latest implantation machines and device manufacturing.
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- EditorialAmerican Institute of Physics
- Año de publicación2011
- ISBN 10 0735408769
- ISBN 13 9780735408760
- EncuadernaciónTapa dura
- Número de páginas532
- EditorMatsuo Jiro, Kase Masataka, Aoki Takaaki, Seki Toshio
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Ion Implantation Technology 2010 (Hb 2011)
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