Modelirowanie poluprowodnikowyh gazowyh sensorow rezistiwnogo tipa - Tapa blanda

В работе проведен анализ принципов работы полупроводниковых газовых сенсоров резистивного типа, сформулирована математическая модель, связывающая выходные характеристики сенсоров с параметрами адсорбирующегося газа, активного слоя и рабочего режима. Предложена процедура расчета условий, при выполнении которых модель активного газочувствительного слоя сенсоров существенно упрощается и справедливо приближение полностью обедненных основными носителями заряда мелкодисперсных поликристаллических слоев широкозонных полупроводников. С помощью построенной теории газочувствительности тонких пленок широкозонных полупроводников (в приближении полностью обедненных зерен активных слоев сенсоров) предложено описание процессов, определяющих основные характеристики полупроводниковых газовых сенсоров резистивного типа, в аналитическом виде получены соотношения, связывающие газочувствительность активных слоев сенсоров с их свойствами, свойствами газа, основными параметрами слоев и режимов работы.