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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications
Librería: ThriftBooks-Atlanta, AUSTELL, GA, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 16,20
Convertir monedaGratis gastos de envío en Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoHardcover. Condición: Good. No Jacket. Missing dust jacket; Pages can have notes/highlighting. Spine may show signs of wear. ~ ThriftBooks: Read More, Spend Less 1.55.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Librería: Toscana Books, AUSTIN, TX, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 44,22
Convertir monedaEUR 3,84 gastos de envío en Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoHardcover. Condición: new. Excellent Condition.Excels in customer satisfaction, prompt replies, and quality checks.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology) [Hardcover] Glendinning, William B. and Helbert, John N.
Librería: Hay-on-Wye Booksellers, Hay-on-Wye, HEREF, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 24,48
Convertir monedaEUR 23,78 gastos de envío desde Reino Unido a Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoCondición: As New.
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Handbook Of Vlsi Microlithography : Principles, Technology And Applications
Librería: Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 54,99
Convertir monedaGratis gastos de envío en Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: 1 disponibles
Añadir al carritoCondición: New. This is a Brand-new US Edition. This Item may be shipped from US or any other country as we have multiple locations worldwide.
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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY : PRINCIPLES, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
Librería: Basi6 International, Irving, TX, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 54,99
Convertir monedaGratis gastos de envío en Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: 3 disponibles
Añadir al carritoCondición: Brand New. New. US edition. Expediting shipping for all USA and Europe orders excluding PO Box. Excellent Customer Service.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Publicado por William Andrew 1991-01-01, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Idioma: Inglés
Librería: Chiron Media, Wallingford, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 47,16
Convertir monedaEUR 18,42 gastos de envío desde Reino Unido a Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: Más de 20 disponibles
Añadir al carritoHardcover. Condición: New.
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Handbook of Vlsi Microlithography: Principles, Technology and Applications
Librería: Revaluation Books, Exeter, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 54,62
Convertir monedaEUR 11,89 gastos de envío desde Reino Unido a Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoHardcover. Condición: Brand New. 1st edition. 671 pages. 10.00x6.75x2.25 inches. In Stock.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Librería: Ria Christie Collections, Uxbridge, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 67,98
Convertir monedaEUR 14,25 gastos de envío desde Reino Unido a Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: Más de 20 disponibles
Añadir al carritoCondición: New. In.
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Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
Publicado por Elsevier Science & Technology, William Andrew, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Idioma: Inglés
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Alemania
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
EUR 65,55
Convertir monedaEUR 33,86 gastos de envío desde Alemania a Estados Unidos de AmericaCantidad disponible: 2 disponibles
Añadir al carritoBuch. Condición: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.
