Artículos relacionados a Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration...
Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices - Tapa blanda
Sinopsis
The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer’s view.
"Sinopsis" puede pertenecer a otra edición de este libro.
Acerca del autor
About the Author
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann has been teaching semiconductor technology, microelectromechanical systems, sensor technology and optoelectronic system integration since 1989.De la contraportada
The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer’s view.
The Content
- Wafer fabrication
- Thermal oxidation
- Lithography
- Etching technology
- Doping techniques
- Chemical and Physical Deposition
- Metallization and Contacts
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann has been teaching semiconductor technology, microelectromechanical systems, sensor technology and optoelectronic system integration since 1989
"Sobre este título" puede pertenecer a otra edición de este libro.
- EditorialSpringer-Verlag GmbH
- Año de publicación2023
- ISBN 10 365841040X
- ISBN 13 9783658410407
- EncuadernaciónTapa blanda
- IdiomaInglés
- Número de edición1
- Número de páginas276
- Contacto del fabricanteno disponible
EUR 46,49
EUR 12,55 gastos de envío desde Estados Unidos de America a España
Destinos, gastos y plazos de envíoComprar nuevo
Ver este artículo
EUR 59,55
GRATIS gastos de envío desde Estados Unidos de America a España
Destinos, gastos y plazos de envío
Resultados de la búsqueda para Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration...
Imagen de archivo
Silicon Semiconductor Technology: Processing and Integration of Microelectronic Devices
Publicado por
Springer Vieweg, 2023
ISBN 10: 365841040X
ISBN 13: 9783658410407
Antiguo o usado
paperback
Librería: Books From California, Simi Valley, CA, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
paperback. Condición: Very Good. Nº de ref. del artículo: mon0003615080
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
SILICON SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
Librería: Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: New. This is a Brand-new US Edition. This Item may be shipped from US or any other country as we have multiple locations worldwide. Nº de ref. del artículo: ABNR-277526
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Silicon Semiconductor Technology
Librería: Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: New. This is a Brand-new US Edition. This Item may be shipped from US or any other country as we have multiple locations worldwide. Nº de ref. del artículo: ABNR-27829
Cantidad disponible: 2 disponibles
Imagen de archivo
Silicon Semiconductor Technology
Librería: Majestic Books, Hounslow, Reino Unido
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: New. Nº de ref. del artículo: 401114594
Cantidad disponible: 2 disponibles
Imagen de archivo
Silicon Semiconductor Technology
Librería: Books Puddle, New York, NY, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 4 de 5 estrellas
Condición: New. 1st Edition. Nº de ref. del artículo: 26396311101
Cantidad disponible: 2 disponibles
Imagen de archivo
Silicon Semiconductor Technology
Librería: Biblios, Frankfurt am main, HESSE, Alemania
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: New. Nº de ref. del artículo: 18396311095
Cantidad disponible: 4 disponibles
Imagen del vendedor
Silicon Semiconductor Technology
Publicado por
Springer Fachmedien Wiesbaden, 2023
ISBN 10: 365841040X
ISBN 13: 9783658410407
Nuevo
Tapa blanda
Librería: moluna, Greven, Alemania
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Comprehensive presentation of the manufacturing processes used in the production of microelectronic circuitsManufacturing processes and technologies in microelectronicsCurrent methods of microelectronic integration technologyA. Nº de ref. del artículo: 826171986
Cantidad disponible: Más de 20 disponibles
Imagen del vendedor
Silicon Semiconductor Technology
Publicado por
Springer Fachmedien Wiesbaden Aug 2023, 2023
ISBN 10: 365841040X
ISBN 13: 9783658410407
Nuevo
Taschenbuch
Librería: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Alemania
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Taschenbuch. Condición: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching,doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includesmodern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view. 276 pp. Englisch. Nº de ref. del artículo: 9783658410407
Cantidad disponible: 2 disponibles
Imagen del vendedor
Silicon Semiconductor Technology : Processing and Integration of Microelectronic Devices
Publicado por
Springer Fachmedien Wiesbaden, 2023
ISBN 10: 365841040X
ISBN 13: 9783658410407
Nuevo
Taschenbuch
Librería: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Alemania
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Taschenbuch. Condición: Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching,doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includesmodern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view. Nº de ref. del artículo: 9783658410407
Cantidad disponible: 1 disponibles
Imagen de archivo
Silicon Semiconductor Technology
Librería: Basi6 International, Irving, TX, Estados Unidos de America
Calificación del vendedor: 5 de 5 estrellas
Condición: Brand New. New. US edition. Expediting shipping for all USA and Europe orders excluding PO Box. Excellent Customer Service. Nº de ref. del artículo: ABEJUNE24-272638
Cantidad disponible: 3 disponibles