Sinopsis
A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.
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Acerca del autor
Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: Better World Books, Mishawaka, IN, Estados Unidos de America
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Condición: Good. Pages intact with minimal writing/highlighting. The binding may be loose and creased. Dust jackets/supplements are not included. Stock photo provided. Product includes identifying sticker. Better World Books: Buy Books. Do Good. Nº de ref. del artículo: 5307233-6
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers (edition 2), 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Hardcover. Condición: Good. 2. It's a preowned item in good condition and includes all the pages. It may have some general signs of wear and tear, such as markings, highlighting, slight damage to the cover, minimal wear to the binding, etc., but they will not affect the overall reading experience. Nº de ref. del artículo: 0890065810-11-1
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Tapa dura
Librería: Greenworld Books, Arlington, TX, Estados Unidos de America
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Condición: good. Fast Free Shipping â" Good condition. It may show normal signs of use, such as light writing, highlighting, or library markings, but all pages are intact and the book is fully readable. A solid, complete copy that's ready to enjoy. Nº de ref. del artículo: GWV.0890065810.G
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Librería: HPB-Red, Dallas, TX, Estados Unidos de America
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hardcover. Condición: Good. Connecting readers with great books since 1972! Used textbooks may not include companion materials such as access codes, etc. May have some wear or writing/highlighting. We ship orders daily and Customer Service is our top priority! Nº de ref. del artículo: S_448111528
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Librería: Anybook.com, Lincoln, Reino Unido
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Condición: Good. This is an ex-library book and may have the usual library/used-book markings inside.This book has hardback covers. Clean from markings. In good all round condition. Please note the Image in this listing is a stock photo and may not match the covers of the actual item,750grams, ISBN:9780890065815. Nº de ref. del artículo: 9722792
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library)
Publicado por
ARTECH HOUSE INC 01.12.1999., 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Condición: Sehr gut. Auflage: 2. 292 Seiten Exemplar aus einer wissenchaftlichen Bibliothek Altersfreigabe FSK ab 0 Jahre Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 969 15,2 x 2,1 x 22,9 cm, Gebundene Ausgabe. Nº de ref. del artículo: 402529
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Print on Demand, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Publicado por
Artech House Publishers, 2000
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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Condición: New. Nº de ref. del artículo: 120670-n
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering Microelectromechanical Systems S
Publicado por
Artech House Publishers, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering Microelectromechanical Systems S
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Artech House Publishers, 1999
ISBN 10: 0890065810
ISBN 13: 9780890065815
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