Gasvik, Kjell J. Optical Metrology

ISBN 13: 9780471954743

Optical Metrology

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9780471954743: Optical Metrology
Reseña del editor:

Optical metrology, or the use of optical techniques for measurement, has progressed rapidly in recent years. Modern sources of radiation, modulators, beam scanners, photo detectors and the computer-assisted detection and display of information have all contributed to the growing interest in the application of optical technology for the solution of a wide variety of measurement problems. This self-contained introduction to the field covers both fundamental theory and practical applications.

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