Fund Semiconductor Fabrication - Tapa blanda
Book by May Gary S Sze Simon M
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Reseña del editor:
Offers a basic, up-to-date introduction to semiconductor fabrication technology, including both the theoretical and practical aspects of all major steps in the fabrication sequence Presents comprehensive coverage of process sequences Introduces readers to modern simulation tools Addresses the practical aspects of integrated circuit fabrication Clearly explains basic processing theory
Contraportada:
This concise introduction to semiconductor fabrication technology covers everything professionals need to know, from crystal growth to integrated devices and circuits. Throughout, the authors address both theory and the practical aspects of each major fabrication step, including crystal growth, silicon oxidation, photolithography, etching, diffusion, ion implantation, and thin film deposition.
- The book integrates Computer Modeling & Simulation tools throughout.
- Process simulation is used as a tool for what-if analysis and discussion.
- Comprehensive coverage of process sequences helps readers connect individual steps into a cohesive whole.
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- EditorialJohn Wiley & Sons
- Año de publicación2003
- ISBN 10 0471232793
- ISBN 13 9780471232797
- EncuadernaciónTapa blanda
- Número de páginas320
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